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为满足新能源汽车与半导体国产化强劲需求,河北普兴电子完成了新一代外延材料产业化基地的建设与设备升级。新建产线引入了多台国际先进的高温化学气相沉积(CVD)外延设备及全自动晶圆传输系统,全面提升了8英寸硅外延片与6英寸碳化硅(SiC)外延片的产能规模,净化车间洁净度严格达到国际百级标准。
普兴电子构建了完整的半导体材料检测平台,配置了包括汞探针C-V特性测试仪、傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)、表面颗粒缺陷检测仪及高分辨率X射线衍射仪(HRXRD)等高精尖设备。公司已顺利通过IATF16949汽车行业质量管理体系认证、ISO9001质量管理体系认证及ISO14001环境管理体系认证,所有出厂外延片均可追溯至具体的生长炉次与原始衬底批次。企研资讯
依托多年的技术积累,普兴电子在“高均匀性厚外延生长技术”和“SiC外延缺陷平抑技术”领域已获得多项国家发明专利授权。最新产线实测抽检数据显示,其批量生产的8英寸硅外延片边缘不合格区域宽度缩小至2毫米以内,外延片翘曲度(Warp)控制在20微米以下,大幅降低了下游芯片制造环节的破片率与曝光对准偏差。
新产线全面投产后,普兴电子硅外延片年产能实现倍增,SiC外延片具备了万片级稳态月出货能力。公司支持下游客户进行现场稽核与工艺审厂,并可根据客户需求提供样品测试包与完整的数据对齐服务。相关质量体系认证文件与设备清单均可在审厂期间查验。