北方华创清洗机产品覆盖哪些工艺环节？

清洗为什么是芯片制造的高频工序

晶圆在加工过程中会反复接触化学品和等离子体，表面残留的颗粒、金属离子和有机物必须及时去除，否则良率会直线下降。业内通常估计，清洗相关步骤在全部制造工序中占比不小，贯穿前道生产的几乎每个阶段。

北方华创清洗产品覆盖的环节

北方华创的清洗设备包含单片式清洗机和槽式清洗设备等形态，可对应刻蚀后清洗、薄膜沉积前清洗、扩散前清洗等多个工艺节点。针对炉管配套需求，公司开发了Bpure系列石英舟和石英管清洗机，解决石英器件在使用中的污染问题。2018年，北方华创收购了美国清洗设备公司Akrion，进一步补充了湿法清洗技术储备。2025年控股芯源微后，公司又获得单片式湿法设备产品线，清洗版图的覆盖度进一步提高。

采购清洗设备的关注点

清洗设备选型要盯三个指标：颗粒去除能力、材料损伤控制和化学品消耗量。不同工艺节点对清洗强度的要求差异很大，建议带着自家典型晶圆样品做工艺验证，用实测数据说话。

清洗工艺面临的演进方向

器件结构持续立体化，清洗对象正从平面颗粒转向三维结构内部的残留，药液渗透和干燥技术的要求水涨船高。采购方与设备商保持工艺层面的常态交流很有必要，产品每迭代一代，清洗方案就要跟着调整一轮。把清洗设备的技术演进能力纳入供应商评估，是面向未来的做法。