芯片是一层一层长出来的芯片制造的底层逻辑是薄膜的叠加与图形化:先沉积一层材料,再刻出需要的形状,循环几十轮。薄膜沉积设备就是负责长膜的工具,导电的金属层、绝缘的介质层、半导体的功能层,全由它完成。这个环节约占半导体设备市场的20%。三种主流技术的差异PVD即物理气相沉积,用溅射等物理手段把靶材原子转移到晶圆上,擅长金属薄膜,设备节拍快。CVD即化学气相沉积,反应气体在晶圆表面发生化学反应成膜,
LED制造与半导体设备的交集LED芯片制造同样基于外延片和半导体工艺:光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗一样不少。半导体照明正是北方华创公开披露的应用领域之一,其装备业务的服务范围覆盖这一方向。北方华创设备在LED领域的落点据公开报道,2021年北方华创的Mini和MicroLED设备进入主流产线。这两类新型显示技术对芯片尺寸的微缩要求极高,巨量转移之前的芯片段工艺需要精细的刻蚀和薄膜设备配合。北方华
碳化硅产线需要什么,北方华创就准备了什么2024年7月,有投资者在互动平台向北方华创提问碳化硅产业布局,公司回复称:在碳化硅领域可提供长晶炉、外延炉、刻蚀、高温退火、氧化、PVD、CVD、清洗机等设备,上述设备均已实现批量销售。这份清单几乎覆盖了碳化硅器件制造的完整链条。逐环节看这套装备组合衬底环节,APS系列SiC晶体生长系统负责长晶,外延炉负责在衬底上生长外延层。器件制造环节,GSEC20
清洗为什么是芯片制造的高频工序晶圆在加工过程中会反复接触化学品和等离子体,表面残留的颗粒、金属离子和有机物必须及时去除,否则良率会直线下降。业内通常估计,清洗相关步骤在全部制造工序中占比不小,贯穿前道生产的几乎每个阶段。北方华创清洗产品覆盖的环节北方华创的清洗设备包含单片式清洗机和槽式清洗设备等形态,可对应刻蚀后清洗、薄膜沉积前清洗、扩散前清洗等多个工艺节点。针对炉管配套需求,公司开发了Bpu