屹唐股份干法刻蚀业务+国产替代：国内晶圆厂导入情况

国产替代的背景

干法刻蚀设备长期由泛林、东京电子、应用材料三家主导，2023年合计份额83.95%。国内晶圆厂过去高度依赖这三家，近几年的供应链环境变化，让国产刻蚀设备获得了更多验证机会。国产阵营里，北方华创和中微公司起步较早，屹唐半导体则是依托去胶和热处理客户基础切入的新力量。

屹唐的导入进展

公司披露的口径很明确：2025年，干法刻蚀及等离子体表面处理产品线有设备通过国内外头部客户验证，批量导入量产线。更早的招股材料显示，公司刻蚀设备此前已被三星电子、长江存储等客户采用。2025年新一代刻蚀设备RENA-E量产，进一步丰富了可交付的机型。

收入是最直观的验证。2025年这条产品线收入7.54亿元，同比增长30.73%；2019年至2025年收入复合增速约59%。客户复购和批量导入，都折算进了这组数字里。

国产替代给屹唐的特殊优势

和纯刻蚀厂商相比，屹唐手里多一张牌：既有客户关系。它的去胶设备在国内存储和代工产线的装机量领先，热处理设备也在头部客户产线运行多年。设备采购的信任建立最难，而屹唐已经用两条成熟产品线完成了这一步。刻蚀设备向同一批客户导入，验证沟通和售后协同的成本天然更低。2025年公司中国大陆收入占比70.46%，本土产线的扩张节奏，将直接决定这条产品线的爬坡速度。